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产品型号：YSP63FA
更新时间：2025-10-26
厂商性质：代理商
访问量：2239
服务热线400-892-6117 021-31268583 021-57631797
产品分类
相关文章
雅马拓YSP63FA等离子清洗机产品特点：
可进行样品传输系统定制。
操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
软性基板也可以进行传送操作。
传送速度可在Hi-Low间调节。
可通过网络进行远程操作（选购品）。
提高各种材料的粘接性、表面改质处理
清洗各类基板。
电子部品、材料表面改质。
更容易嵌入生产线使用。
可通过操作面板自由切换等离子模式。
雅马拓YSP63FA等离子清洗机产品参数：
型号 | YSP63FA |
模式 | RIE（DP模式选购） |
高频输功率 | 600W |
反应台尺寸 | W385×D362mm |
内腔尺寸 | W395×D378×H45mm（内尺寸） |
反应气体 | 2进气系统（氧气、氩气） |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
真空泵 | 旋转式真空泵（约500L/min） |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
其它同类产品如下：
雅马拓YSP600U等离子清洗仪器：
产品特点：
样品传输系统为模块式，便于组合。
体积小，节省空间。
选用小型腔体，反应效率高。
更容易嵌入生产线使用。
可通过操作面板自由切换等离子模式。
配备冷却反应台。
技术参数：
型号 | YSP600U | YSP2KU |
模式 | RIE（DP模式选购） | |
高频输功率 | 600W | 2000W |
反应台尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
反应气体 | 2进气系统（氧气、氩气） | |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 | |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 | |
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